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ULVAC愛發(fā)科YM-VD-102A羅茨泵機(jī)組
YM-RL系列羅茨泵機(jī)組是多級(jí)羅茨式干泵、羅茨泵、安裝支架、接管、控制箱、消音器等組合而成,用于生產(chǎn)、研究設(shè)備的真空排氣機(jī)組。
冷凍干燥、鍍膜、真空釬焊爐、真空燒結(jié)爐、單晶爐、多晶爐、等離子刻蝕、氣體回收系統(tǒng)等。
? 無油、干燥、清潔。
? 在低溫領(lǐng)域的均熱化。
? 大抽速,可以縮短排氣時(shí)間。
? 優(yōu)良的耐腐蝕性。
? 低噪音、低震動(dòng)。
- 技術(shù)參數(shù)
- 抽氣速率曲線
YM-RL系列羅茨泵機(jī)組
- 組成
用途
優(yōu)點(diǎn)
* 1 用皮拉尼真空計(jì)測定的值。
* 2 不作為系列。
* 3 冷卻水不得有結(jié)露。
* 4 用調(diào)節(jié)閥所調(diào)整的壓力表的值。
* 5 氮?dú)猓芊鈿怏w)流量5L/min是固定值。
YM-VD / VS系列羅茨泵機(jī)組是由油旋片真空泵、羅茨泵、安裝支架、接管、控制箱、油霧過濾器等組合而成,用于生產(chǎn)、研究設(shè)備的真空排氣。
? 蒸發(fā)鍍膜、濺射鍍膜、離子鍍、光學(xué)鍍膜等。
? 單晶爐、多晶爐、真空熱處理爐、燒結(jié)爐、退火爐、淬火爐等。
? 真空干燥、冷凍干燥、檢漏設(shè)備及系統(tǒng)、氣體回收系統(tǒng)、液晶注入等。
? 冰箱、家用空調(diào)、中央空調(diào)、節(jié)能燈、背光源、自動(dòng)抽空線、排氣設(shè)備等。
- 技術(shù)參數(shù)
- 抽氣速率曲線
YM-VD / VS系列羅茨泵機(jī)組
- 組成
用途
* 1 用皮拉尼真空計(jì)測定值。
* 2 標(biāo)準(zhǔn)電機(jī)為50Hz-380V/400V/415V、60Hz-380V/400V/440V或50Hz-200V、60Hz-200V/220V。
* 3 VDN301泵在50Hz使用時(shí)的電機(jī)為1.1kW;而60Hz使用場合,電機(jī)應(yīng)配1.5kW。
* 4 各種泵油的性能是不同的,因此,為避免影響泵的性能,請使用本公司的真空泵油。
* 5 NB300B的吸入口在530Pa以上進(jìn)行連續(xù)運(yùn)行時(shí),必須用水冷卻(2L/min)。