原裝進(jìn)口EBARA 荏原 G6 P1-P4 燃燒式廢氣處理器

2025/03/13 10:18:13

G6 系列

*流量為 1,200 L/min 的大流量燃燒廢氣處理系統(tǒng)

燃燒廢氣處理系統(tǒng)

能夠處理大流量

多種氣體的批處理

PFC 氣體的高效處理

副產(chǎn)品對(duì)策和粉末自動(dòng)卸料功能

運(yùn)行成本低

根據(jù)氣體類型和體積按需運(yùn)行

提高可維護(hù)性

產(chǎn)品介紹

G6 型是一種燃燒式廢氣處理系統(tǒng)，能夠高效、大容量地處理制造過(guò)程中使用的各種氣體。它允許的進(jìn)氣量約為傳統(tǒng)型號(hào)的 3 倍，還可以處理高發(fā)熱的大流量氫氣。根據(jù)要處理的氣體的類型和數(shù)量，通過(guò)按需（可變?nèi)剂瞎?yīng)量）運(yùn)行功能降低了運(yùn)行成本，并通過(guò)大容量副產(chǎn)品捕集器等副產(chǎn)品措施降低了高流量氣體處理時(shí)的維護(hù)成本和負(fù)荷。它非常適合用于半導(dǎo)體、液晶面板、太陽(yáng)能電池和 LED 等電子元件的制造、化學(xué)和材料制造商以及各種實(shí)驗(yàn)室。

規(guī)范

型	單位	G6 A1~A4	G6 P1~P4
加工方法		燃燒 + 濕式	燃燒 + 濕式
*進(jìn)氣量	升/分鐘	1,200 x 1,900 x 2,300	1,200 x 1,900 x 2,300
燃料		城市燃?xì)?	丙烷氣
大小	寬 x 深 x 高 mm	1,200 x 1,900 x 2,300	1,200 x 1,900 x 2,300
可處理氣體示例		工藝（倉(cāng)庫(kù)）氣體 SiH4、PH3、GeH4、AsH3、NH3、SiH2Cl2、B2H6、H2、PH3、Si3H8 等。一般清洗氣體 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 等。一般蝕刻氣體 HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6 等。	工藝（倉(cāng)庫(kù)）氣體 SiH4、PH3、GeH4、AsH3、NH3、SiH2Cl2、B2H6、H2、PH3、Si3H8 等。一般清洗氣體 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 等。一般蝕刻氣體 HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6 等。
標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備		高流量 NF3 處理燃燒器	高流量 NF3 處理燃燒器

北崎8年，日本會(huì)社20年，專注領(lǐng)域如下：
儀器相關(guān)：
山高SANKO（代理）、東機(jī)產(chǎn)業(yè)TOKI（代理）、索尼克SONIC（代理）、東日技研DIT（代理）、杉山電機(jī)SUGIYAMA（代理）、愛(ài)安德AND(廠家合作）、飯島電子IIJIMA、東麗TORAY、共和KYOWA、愛(ài)安德AND、豪雅HOYA（代理）
備件設(shè)備相關(guān)：
柴田SIBATA(代理）、壺坂TSUBOSAKA（代理）、雅馬拓YAMATO、新光NEWKON（代理）、武藏MUSASHI（代理）、尼得科NIDEC（代理）、MRM(代理）、坂口電熱SAKAGUCHI（代理）、岡崎OKAZAKI、椿本TUSBAKI（廠家合作）、山本鍍金YAMAMOTO、馳卡沙TSUKASA、朝日分光ASAHI、東機(jī)理化EYELA、科庫(kù)森KOKUSAN
光源相關(guān)：
巖崎EYE（代理）、日森SEN（代理）、晰寫(xiě)速CCS（代理）、萊寶克斯REVOX（代理）、索萊克SERIC(代理）、普拉瑞POLARION、船越龍F(tuán)UNATECH、牛尾USHIO、艾泰克ATIEC、山田YAMADA、拓普康TOPCON、歐阿希ORC、賽納SENA、英富麗INFLIDGE
電氣控制：
SIEMENS西門(mén)子（廠家合作）、MITSUBISHI三菱，OMRON歐姆龍（廠家合作）、基恩士KEYENCE（廠家合作）

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